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依据生产通知单的检测要求,有如下标准:
1.划伤:
基片表面线状外观不良,指窄而长的一道划痕,其划痕宽度一般是点子长度的2倍以上。
2.亮点:
产品外观的亮点、气泡杂质,镀膜点状物、刺孔、砂眼等。生产通知单一般有表示产品对伤痕/亮点的检测要求,其检验标准如下:
a. 80/50:产品2/3的范围内可允许有1-2个划伤,划伤长度可达到产品的1/2,宽度为0.08mm,基片亮或点子在产品2/3的范围内可允许有2-3个点子其宽度为0.5mm,且分布在不同地方。
b. 60/40:在产品的2/3范围内可允许有1个划伤,划伤小于0.06mm,基片亮点或点子在产品的2/3范围内允许有1-2个点子其宽度在0.4mm内。点子间要有间隙,产品中间不允许有点子。
c. 40/20:在产品的2/3范围内可允许有一个划伤,划伤小于0.04mm。基片亮点或点子在产品2/3的范围内可允许有一个点子,点子大小在0.2mm。点子间要有间隙,产品中间不允许有点子。
d. 20/10:在产品的2/3范围内可允许有一个划伤,划伤小于0.02mm。基片亮点或点子在产品2/3的范围内可允许有一个点子,点子大小在0.1mm且点子间要有间隙,产品中间不允许有点子。
e. 10/5:产品表面无划伤、点子现象。
3.脏污:
指镜面表面变色之区域,如霉斑、水点、泡沫状、月状等,由于镀膜前产品未洗净而覆盖于膜下,可由透视法或反射法发现。
a. 局部性的点状脏污一般依伤痕/亮点指标准来判断可否允收。
b. 可由透视法发现不良砂目与脏污,判断为不良拒收。
c. 一般脏物/油污状的脏污不允许有。
4.裂边:
指产品外围到裂边顶峰的距离。
5.缺角:
指产品四角边缘由缺损和破裂现象,根据产品图面外观品质标准判定允收或拒收。
6.指纹:
手指在产品表面留下的痕迹,一处不可。
7.脱膜:
产品镀膜面边缘部位膜层脱落或用测试胶带沿垂直方向拉起后有脱膜者,均不可(测试方法:以3-M的胶带,黏贴25厘米长的胶带于镀膜表面,并以大于25cm/s之速度迅速拉起)。
8.色异:
指产品表面有两种不同颜色现象。不允许。
9.雾面:
指产品表面有朦胧不清晰状现象,一处不可。
10.水痕:
产品表面因未烘干或其他异常而形成的类似散开的水雾呈圆弧状,用无尘纸或无尘布沾酒精可擦拭干净时返工。
11.齿印:
产品四周边缘夹具出一种异色的印痕,一处不可。
12.变形:
圆片滚成椭圆形。方片切成菱形或折片造成的多角多边。
13.崩边:
针对方片折片造成,切割边缘有不平整现象。
14.压痕:
覆在产品表面的呈同心圆形状且没有伤到膜层的(类似大圆套小圆,或边缘呈圆弧形状),可修复。
15.压伤:
与压痕现象一致,但损伤到膜层且痕迹较明显,较亮(类似大圆套小圆,或边缘呈圆弧形状),不可修复。
16.毛屑:产品的边缘有一条或多条类似线一样的现象,有时会在产品的表面。
17.毛边:产品边缘连续破边且边缘发亮呈锯齿状。依伤痕标准判定可否允收。
18.边料:镀膜的夹具印,不允许。
1/1×0.04
1/表示对气泡的要求
例:1/1×0.04允许一个直径为0.04的气泡
实际上气泡的面积为1×0.042=0.0016mm2
可以拆分成许多小气泡,但其总面积不变。
如:1/1×0.04等价于1/3×0.025或者1/6×0.016,1/16×0.001 etc
2/01
2/表示对条纹的要求
2/01表示允许01级条纹
条纹共分01-04级
3/3(1)0.5
3/表示对光圈的要求
3/3(1)0.5表示光圈数为3,括号中数字表示在两个垂直方向中光圈的差值,即一个方向光圈为3,垂直方向光圈为2,局部误差允许0.5个圈
4/3.2’
4/表示对偏心的要求
4/3.2’表示面倾角为3.2’,如果换算成在球心处偏心量C
C=面倾角x球面半径值/3438
例:r=53.43,面倾角3.2’,则C=3.2×53.43/3438=0.0497
5/1×0.063;K2x0.004;R0.1
5/表示对表面疵病的要求
5/1×0.063;K2x0.004;R0.1
1×0.063表示允许一个尺寸为0.063mm麻点,同气泡一样,也可以用麻点面积折算成许多的小麻点,如1×0.063麻点面积为:1×0.063=0.004mm2可以折算成3×0.05;6×0.025;16×0.016;40×0.01也可折算成1×0.04+4×0.025只要保持麻点总面积不变,同样,带有括号的,不能分拆成多个小麻点。
K2x0.004表示允许2条任意长度,宽度为0.004mm的划痕,划痕也可以用同等划痕面积来拆成许多小划痕,但总面积不变。
划痕面积也可用麻点代替。
6/10
6/表示对材料应力的要求
6/10表示允许材料存在10nm的光程差,即光线经过每1cm后允许产生光程差10nm。